آمنه کارگریان - استادیار، پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته ای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران، ایران
سولماز جمالی - دانش آموخته دکترا، پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته ای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران، ایران
مهدی بخش زاد محمودی - دانش آموخته کارشناسی ارشد، پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته ای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران، ایران

در این مقاله، هدف طراحی و ساخت دستگاه تولید پلاسما به­روش تخلیه سد دی­الکتریک سطحی(SDBD) در مقیاس آزمایشگاهی به­منظور تولید لایه­ای از پلاسمای فشار اتمسفری پایدار و یکنواخت است. بدین منظور الکترود مسی با ضخامت ۱۰۰ میکرون با ساختار شانه­ای برای این سامانه طراحی و ساخته شد و برای ساخت دی­الکتریک نیز از ورقه میکا با ضخامت ۵/۰ میلی­متر با ابعاد ۱۰×۱۰ سانتی­متر استفاده شد. با توجه به داده­های تجربی و محاسبات تحلیلی برای اندازه­گیری توان مصرفی سامانه SDBD ساخته­شده، در شرایط کاری ولتاژ ۷ کیلوولت و فرکانس ۵/۱۲ کیلوهرتز، توان مصرفی این سامانه برابر با ۵۰ وات محاسبه شد. همچنین، با استفاده از طیف­سنجی نشر نوری، طیف بدست آمده از پلاسما مورد بررسی قرار گرفت. با توجه به تولید پلاسمای پایدار و یکنواخت ایجادشده بر روی سطح دی­الکتریک و توان مصرفی اندازه ­گیری­ شده­ قابل قبول، این سامانه توانایی استفاده در علوم و صنایع  مختلف از جمله صنایع پردازش سطوح را خواهد داشت.

پلاسمای یکنواخت, تخلیه سد دی الکتریک سطحی, توان مصرفی, ساختار شانه ای شکل