شبیه سازی فشارسنج پیرانی مبتنی بر فناوری MEMSبا نرم افزارMATLAB
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,662
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
KHIAU01_119
تاریخ نمایه سازی:
Abstract:
امروزه فشارسنج ها کاربردهای وسیعی در صنایع نظامی و تجاری پیدا کرده اند. از این رو از اهمیت خاصی برخوردارند. فشارسنج ها با ساختارهای متفاوت و در ابعاد مختلف وجود دارند. در این مقاله طریقه ی عملکرد فشارسنج پیرانی مبتنی بر فناوری MEMSو روابط و معادلات فشار و انتقال گرما مورد بررسی قرار گرفته است و در نهایت این معادلات با توجه به شرایط زیر, در سیمولینک نرم افزارMATLABشبیه سازیشده است؛ نگه داشتن دمای میکروپل در49.5 وجود گاز غالب نیتروژن در اطراف میکروپل؛ در نظر گرفتن هدایت گرمایی از طریق انتقال حرارت بین میکروپل و گاز اطراف آن و حذف اتلاف حرارتی ناشی از همرفت, تشعشعات گرمایی میکروپل, و هدایت گرمایی سه بعدی میکروپل شبیه سازی به صورتSystem Levelانجام شده است. یعنی در شبیه سازی بلوک هایی در نظر گرفته شده است که می توان مشخصات فیزیکی قطعه (میکروپل) را در آنجا تغییر داد. به همین دلیل شبیه سازی ساختارهای مختلف را می توان با این روند انجام داد. در این صورت می توان نتایج عملکرد قطعه را مشاهده نمود و مقدار حساسیت و دقت قطعه را تعیین کرد. و در نهایت با توجه به شرایط بالا و در نظر گرفتن ابعاد میکرو پل برابر با عرض1μm طول 1000μm و ضخامت 0.5μm به فشارسنج پیرانی با عملکردی با دقت 1Torr رسیدیم.
Keywords:
فشارسنج پیرانی MEMS شبیه سازی
Authors
محمد مجیدی
دانشجوی فوق لیسانس
محمدصادق آخوندی
استاد گروه الکترونیک و اجزاء دقیق دانشگاه صنعتی مالک اشتر, تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :