مجتبی شمی ناتری - دانشجوی دکتری
بهرام عزیزالله گنجی - استادیاردانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

دراین مقاله ما به بررسی وتحلیل ریاضی وشبیه سازی عواملموثر دربهبود عملکرد حسگرهای خازنی MEMS می پردازیم این حسگرها خازنی امروزه درساختار انواع حسگرها و ادوات الکترونیکی و مکانیکی بطور وسیع مورد استفاده قرارمیگیرند مانند حسگر اثرانگشت میکروفون شتابسنجها و.. .که نشانگر اهمیت این حسگرها می باشد این حسگرهای خازنی برپایه تغییرات خازنی عمل می کنند که این تغییرات خازنی براساس جابجایی الکترود بوجود می آیند جابجایی دیافراگم نیز میتوانددراثر اعمال فشار مانند فشارصوت دست و ... ایجاد گردد پس دراین حسگرها جابجایی الکترود و تغییرات خازنی عوامل تعیین کننده ای هستند دراین مقاله ما به بررسی و بهبود عملکرد حسگرخازنی بوسیله ایجاد تغییرات درساختار و موادتشکیل دهنده یالکترود می پردازیم

حسگر،خازن، جابجایی، دیافراگم، حساسیت