طراحی و شبیه سازی حسگر یکپارچه فشار- شارنوین میکروالکترومکانیکی

دراین تحقیق یک حسگریکپارچه نوین میکرومکانیکی جهت اندازه گیری همزمان فشاروشارهوا برپایه حسگرشارنیروی کششی و حسگرفشاردیافراگمی با روش اندازه گیری پیزومقاومتی طراحی و شبیه سازی گردید برای انجام این تحقیق ابتدا شکل هندسی حسگر درنرم افزار GAMBIT طراحی و مش بندی شده و سپس درنرم افزار FLUENT محدوه شارصفرتا5 لیتربردقیقه را تجربه نمود درنهایت فشارمیانگین وارده برتیرهای معلق حسگرشار و دیافراگم حسگرفشار به عنوان ورودی تحلیلگر MemMech MemPZR نرم افزار CoventorWare استفاده شده و خروجی پل وتستون حسگرها به ازای ولتاژ ورودی 2.5 ولت بدست آمد همچنین طرح مقاله مرجع نیز درشرایط مشابه مورد شبیه سازی قرارگرفت نتایج حاصل ازبررسی نشان میدهد درسرعت 18متربرثانیه خروجی حسگر 2.61mV می باشد که درمقایسه با مقاله مرجع بیش از2.5 برابر افزایش حساسیت را ارایه می نماید

Keywords:

حسگریکپارچه فشار شار , تیرمعلق , سیلیکون