مینا عاشوری - موسسه آموزش عالی سجادمشهد
هومن نبوتی

دراین مقاله خازن های الکترومکانیکی که باتنظیم فاصله هوایی تغییر ظرفیت می دهند مورد بررسی قرارگرفته و عوامل موثردرکاهش بازه تنظیم و ضریب کیفیت یک خازن متغیر شناسایی و ارایه شده است و بهمنظور افزایش همزمان بازه تنظیم و ضریب کیفیت یک خازن سه صفحه ای که ازدو صفحه متحرک و یک صفحه ثابت تشکیل شده است و قابل ساخت درفرایند استاندارد CMOS است طراحی و شبیه سازی شده است همچنین ویژگیهای تکنولوژی CMOS با ذکرمزایای استفاده ازآن درساخت خازن های متغیر MEMS بیان گردیده و نحوه ساخت خازن سه صفحه ای با استفاده ازلایه های فلزی این تکنولوژی معین شده است شبیه سازی خازن به وسیله نرم افزار EM3DS صورت گرفته و نتایج حاصل بازه تنظیم 300درصد را نشان میدهد که نسبت به خازن صفحه موازی معمول 6برابر افزایش یافته است استفاده ازلاهی های فلزی موجود درفرایند 0.18μm CMOS درطراحی صفحات خازن موجب کاهش مقاومت سری و افزایش ضریب کیفیت به 300 درGHZ 1 شده است

خازن متغیرسه صفحه ای شکل، خازن الکترومکانیکی با تنظیم فاصله هوایی، تکنولوژی CMOS