Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings
Login |Register |Help |عضویت کتابخانه ها
Paper
Title

طراحی و ساخت میکروسنسور دما بر پایه تکنولوژی MEMS

Year: 1392
COI: ICEE21_393
Language: PersianView: 1,815
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download

Buy and Download

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این Paper را که دارای 5 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

Authors

فاطمه سمائی فر - دانش آموخته کارشناسی ارشد دانشکده برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر
حسن حاج قاسم - دانشیار دانشکده برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر
منصور محتشمی فر - دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
مجیدرضا علی احمدی - دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه صنعتی مالک اشتر

Abstract:

در این مقاله میکروسنسور دمای مقاومتی بر روی بستر سیلیکون با استفاده از فلزات مختلف و بر پایه تکنولوژی میکروالکترومکانیکال سیستمMEMS) طراحی و ساخته شده است. آشکارساز دمای مقاومتیRTD)میکرومتری به دلیل حجم کوچک، دقت بالا، ساخت آسان و قیمت ارزان به طور گسترده به عنوان سنسور دما مورد استفاده قرار می گیرد. یکی از عوامل تاثیر گذار در حساسیت سنسورهایRTDجنس المان حساس به دمایRTDمی باشد. نیکل و پلاتین دلیل پایداری، خطی بودن و ضریب دمایی مقاوتی TCR)بالا به طور گسترده به عنوان المان حساس به دما در سنسورهای RTDاستفاده می شوند. در این مطالعه ما دو سنسور دمای مقاومتی با طراحی یکسان و متفاوت درالمان حساس به دما ساخته و کالیبره کردیم. در سنسور دمای اول از پلاتین و در سنسور دوماز نیکل به عنوان المان حساس به دما استفاده کردیم و تاثیر المان حساس به دمای نیکلی و پلاتینی را در حساسیت سنسور بررسی کردیم. همان طور که نتایج نشان می دهد سنسور دمای نیکلی فیلم نازک از نظر حساسیت0/9 Ω/0C و خطی بودن از سنسور دمای پلاتینی بهتر است

Keywords:

المان حساس به دما , سنسور دمای مقاومتی میکرومتری , کالیبراسیون , میکروالکترومکانیکال سیستم

Paper COI Code

This Paper COI Code is ICEE21_393. Also You can use the following address to link to this article. This link is permanent and is used as an article registration confirmation in the Civilica reference:

https://civilica.com/doc/208450/

How to Cite to This Paper:

If you want to refer to this Paper in your research work, you can simply use the following phrase in the resources section:
سمائی فر، فاطمه و حاج قاسم، حسن و محتشمی فر، منصور و علی احمدی، مجیدرضا،1392،طراحی و ساخت میکروسنسور دما بر پایه تکنولوژی MEMS،21th Iranian Conference on Electric Engineering،Mashhad،https://civilica.com/doc/208450

Research Info Management

Certificate | Report | من نویسنده این مقاله هستم

اطلاعات استنادی این Paper را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

Scientometrics

The specifications of the publisher center of this Paper are as follows:
Type of center: دانشگاه دولتی
Paper count: 9,766
In the scientometrics section of CIVILICA, you can see the scientific ranking of the Iranian academic and research centers based on the statistics of indexed articles.

New Papers

New Researchs

Share this page

More information about COI

COI stands for "CIVILICA Object Identifier". COI is the unique code assigned to articles of Iranian conferences and journals when indexing on the CIVILICA citation database.

The COI is the national code of documents indexed in CIVILICA and is a unique and permanent code. it can always be cited and tracked and assumed as registration confirmation ID.

Support