طراحی و تحلیل ساختارشتاب سنجی خازنی میکروالکترومکانیکی با قابلیت اندازه گیری دقیق

یکی از مباحثمهم در زمینه های مختلفتحقیقاتی، مهندسی و علوم زیستی این است که بتوان متغیرهای محیطی را به کمکحسگرهایی با قابلیت اطمینان و حساسیت بالا اندازه گیری نمود. امروزه کوچکتر و حساس ترکردن حسگرها یکی اززمینه های بسیار مورد توجه است یکی ازتکنولوژی های مطرح در زمینه کوچک سازی حسگرها، تکنولوژی MEMS است دراین مقاله ساختار جدیدی برای شتاب سنج های برپایه MEMS ارایه میشود که قادر است مقادیر شتاب را با دقت بهتری اندازه گیری نماید. در زمینه ساخت شتاب سنجهای MEMS مقالات متعددی منتشر شده است و چندین محصول نیز به تولید انبوه رسیده و وارد بازار جهانی گردیده است. با این وجود هنوز هم تحقیقاتی در جهت کوچکترکم مصرفت ر مطمئن تر ارزان تر و دقیق تر کردن این حسگرها درحال انجام است. ساختار ارائه شده در این مقاله دارای این ویژگی است که علاوه برسادگی پروسه ی ساخت شتاب سنج درسطح مشخصی ازویفرسیلیکونی میتواند به حساسیت های بهتری برای اندازه گیری شتاب دست یافت.

Keywords:

شتاب سنج , حسگر , تغییرات خازنی MEMS