بررسی خواص اپتیکی، آبدوستی و اکسیداسیون نانو لایه های TiO2 تهیه شده به روشMagnetorn DC Sputtering

در این مقاله، خواص آبدوستی لایه نازک TiO2 ساخته شده به روش DC Magnetorn Sputtering انجام وفلزTi به عنوان پایه استفاده شده و نتایج حاصل تجزیه و تحلیل شده است . شرایط آنیل و اکسید نمودن لایه های پوشش داده شده و بررسی فازهای لایه نازک توسطXRD و همچنین طیف اپتیکی عبوری بوسیله آنالیز UV-Vis و زبری سطح توسط آنالیزAFM و همچنین مرفولوژی این نانو لایه ها نیز مورد بررسی و ارزیابی قرار گرفته است . نتایج حاصل نشان داد که به منظور افزایش خاصیت آبدوستی می بایست به ضخامت لایه تشکیل شده، فازها ی تشکیل شده در لایه و نوع ماد ه توجه نمود. بر طبق مشاهدات و نتایجمطرح شده در برخی نمونه ها به علت تشکیل نشدن فاز آناتاز این نمونه ها دارای خاصیت آبدوستی کم بوده اند. در برخی نمونه ها نیز بخاطر ضخامت بسیار کم لایه خاصیت آبدوستی آنها کم گزارش شده، ول ی در تعد ادی از نمونه ها که دارای خاصیت فوق آبدوستی در غیاب اشعهUVبود به دلیل داشتن ضخامت مناسب لایه ها، یکنواخت ی سطح ی خوب و تشکیل فاز مناسب در این لایه ها بوده است . در آنالیزUV-Vis نیز با آنیل نمودن لایه های پوشش داده شده سبب ایجاد تغییرات ی در ماهیت ساختار این نانو لایه ها و حتی از بین رفتن مواد آلی موجود در لایه های پوشش داده شد. میزان طیف عبوری در این نمونه ها بیشتر از حالت های آنیل نشده آن بود.طبق مشاهدات و نتایج حاصل، نمونه های آنیل شده در دمای400°و500°دارای خاصیت فوق آبدوستی در غیاب اشعهUV بوده و دارای ضخامت مناسب و تشکیل فاز مناسب در این لایه ها بوده است.

Keywords:

دی اکسید تیتانیوم , اسپاترینگ مغناطیسی جریان مستقیم , فوق آبدوست , آناتاز , مرفولوژی