طراحی و ساخت سنسور دمای نیکلی میکرو الکترو مکانیکی
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,622
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEEE05_062
تاریخ نمایه سازی: 3 آذر 1392
Abstract:
ازتکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی که به اختصارMEMS نامیده میشود برای ساخت یکسنسوردما استفاده کرده ایم لایه نازکی ازجنس نیکل به عنوان المان حساس به دما برروی یک زیرلایه سیلیکونی باروش تبخیر حرارتی نشانده شده است ضریب خطی بودن منحنی دما مقاومت لایه نازک نیکل دربازه دمایی 25تا100درجه سانتیگراد به 0.9996 رسید ضریب انبساط دمایی آن نیز -3Ω/Ω/˚C10×3 می باشد لایه عایق بین المان نیکلی و زیرلایه سیلیکونی به روش اکسیداسیون خشک ساخته شد سایز بسیار کوچک این سنسور دمای مقاومتی سرعت پاسخ دهی را به شدت بالا می برد به علاوه خواص خوب نیکل آن را تبدیل به یک سنسوربادقت بالا تکرار پذیر و پایداردربازه دمایی 25تا230درجه کرده است درادامه کاریک مجموعه ازمایشگاهی برای کالیبراسیون سنسور و یکمداربازخوانی برای خواندن سیگنال خروجی سنسور طراحی و ساخته شد
Keywords:
Authors
ملیحه شریفی
دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :