مدلسازی جابجایی مکانیکی صفحه متحرک خازن متغیر MEMS با ساختار اهرمی بر اثر نیروی الکتروستاتیکی
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 607
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEEE05_089
تاریخ نمایه سازی: 3 آذر 1392
Abstract:
این مقاله یک مدلسازی مکانیکی برای بیان رفتاریک خازن متغیر با ساختاراهرمی براثراعمال نیروی الکتروستاتیکی برناحیه میانی آن بیان شده است این ساختارصفحه خازنی توسط چهارتیرک ازیک طرف ثابت شده است و ابعاد تیرکهای نگهدرنده این خازن طورری طراحی شده اند تا صفحه خازنی بطور موازی به سمت پایین حرکت کند ازاین رو رابطه ای جهت محاسبه جابجایی حاصل ازاعمال نیرو به هریک ازاین تیرک ها بدست آمده است دراین مقاله همچنین رابطه میان میزان جابجایی نقطه انتهایی تیرک و طول آن و نیز فاصله محل اعمال نیرو به تیرک تا تکیه گاه نیز مورد بررسی قرارگرفته است علاوه براین نتیج روابط تئوری با نتایج شبیه سازی مقایسه شده است که درستی این روابط را تصدیق می کند.
Keywords:
Authors
هدیه محمودنیا
دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
بهرام عزیزالله گنجی
دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :