اندازه گیری پارامترهایسیستم چند لایه با سطوح کروی با استفاده از تداخل سنجی با نور کوتاه همدوس

در این مقاله بر اساس تداخل سنجی با نور کوتاه همدوس، روشی جهت اندازه گیری پارامترهای سیستم چند لایه با سطوح کروی ارائه میشوند . این پارامترها شامل شعاع انحنای سطوح، صخامت و ضریب شکست لایه ها هستند . در یک بازوی تداخل سنج مایکلسون با منبع نور کوتاه همدوس، باریکه کروی حاصل از یک عدسی محدب به نمونه تابیده میشود . با جابجا کردن نمونه نسبت به عدسی مکانی که باریکه بر هر سطح میتابد و بر میگردد اندازه گیری میشود . همزمان با جابجا کردن بازوی دیگر تداخل سنج مکانی که فریز تداخلی تشکیل میشود مشخص میگردد . بدینوسیله اختلاف راه نوری باریکه های انعکاسی پیرامحوری از سطوح اندازه گیری میشود . این اندازه گیری ها معادله های لازم را برای محاسبه پارامترهای هر لایه را ایجاد میکنند . آزمایش بر روی یک عدسی دوتائی صورت گرفته است . نتایح دقت نسبی %0,1 در محاسبه پارامترهای مذکور را، با توجه به امکانات موجود، نشان میدهد .