ساخت و مشخصه یابی لایه های نازک MoO3 به عنوان حسگر گاز CO
Publish place: 14th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 700
This Paper With 12 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE14_072
تاریخ نمایه سازی: 9 بهمن 1392
Abstract:
این مقاله به بررسی خواص سنسوری لایه های نازک MoO3 تهیه شده با تکنیک کندوپاش مغناطیسی DC به صورت تابعی از شار گاز آرگون می پردازد. لایه های نازک MoO3 با ضخامت nm 90 بر روی زیرلایه هایی از جنس شیشه تحت شارهای مختلف گاز آرگون sccm) 5 -20 انباشت شدند. ساختار کریستالی این لایه ها با استفاده از پراش پرتو XRD) X- و ریخت شناسی سطح آنها با استفاده از میکروسکپ نیروی اتمی AFM) و میکروسکپ الکترونی روبشی SEM بررسی شد. نتایج XRD نشان داد که نمونه های اکسید مولیبدن انباشت شده در شار های مختلف گاز آرگون همگی بس بلورهایی از فاز پایدار ارتوهومبیک (-MoO بودند. این تحلیل همچنین نشان داد که با افزایش شار گاز آرگون اندازه بلورک ها افزایش و نانوکشش در ساختار لایه ها کاهش می یابد. مطالعه ریخت شناسی سطح نمونه ها نیز نشان داد که اندازه دانه ها (مطابق با تحلیل XRD و زمختی سطح نمونه ها با افزایش شار گاز آرگون افزایش می یابد. بررسی های الکتریکی نیز نشان داد که مقاومت الکتریکی لایه های نازک MoO3 انباشت شده در شارهای بیشتر گاز آرگون بیشتر است، و این درحالی است که افزایش دمای محیط سبب کاهش مقاومت الکتریکی می شود . این تحلیل ها همچنین نشان داد که مقاومت الکتریکی نمونه های اندازه گیری شده در خلا بیشتر از مقاومت اندازه گیری شده در حضور گاز CO است و این کاهش برای نمونه های تهیه شده در شارهای بالای گاز آرگون یعنی sccm 20 تا 50% نیز می رسد، که سبب معرفی این نانو لایه به عنوان یک حسگر گازی شد.
Keywords:
Authors
کیخسرو خجیر
چالوس، دانشگاه آزاد اسلامی واحد چالوس، گروه فیزیک (استادیار)
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :