سعید علیائی - دانشگاه تربیت دبیر شهید رجایی تهران
بهرام منفرد - دانشگاه تربیت دبیر شهید رجایی تهران

دراین مقاله باارایه یک روش جدیددرسامانه نانومترولوژی برپایه تداخل سنج سوپرهتروداین مسیرسیگنال مرجع را ازساختارحذف نموده و ازسیگنالهای بخش اندازه گیری آن رابازیابی خواهیم کرد درسامانه های متداول ازسه اشکارسازنوری بهمنی برای اندازه گیری جابجایی هادرمقیاس نانواستفاده میشود امادراین مقاله نشان خواهیم داد که میتوان باحذف مسیرمرجع تعداد اشکارسازهای نوری و نیز افزاره های اپتیکی مانند قطبنده خطی و بخشهای الکترونیکی مانند ضرب کننده متعادل دوگانه را کاهش داد

تداخل سنج سه مودبهبودیافته، سیگنال مرجع، سامانه نانومترولوژی