سیدعلی حسینی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران
محمدرضا حنطه زاده - دانشگاه جامع امام حسین (ع)
پویا صلواتی دزفولی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران
عبداله ملک زاده - دانشگاه جامع امام حسین (ع)

با استفاده ازدستگاه کندوپاش جریان مستقیم استوانه ای نانوفیلم دی اکسید تیتانیم برروی سیلیکون 100 دردمای محیط لایه نشانی شد فیلم دردماهای مختلف بازپخت شد خصوصیات ساختاری فیلم مورفولوژی سطح نمونه به وسیله دستگاه های پراش پرتوایکس و میکروسکوپ نیروی اتمی بررسی شد تاثیر دمای بازپخت برروی ساختارکریستالی و مورفولوژی سطح فیلم بررسی شد نتایج xrd نشان داد که نانوفیلم دی اکسید تیتانیم دردمای محیط ساختاری امورف دارد نمونه بازپخت شده ساختارکریستالی بافازهای اناتاز و روتایل داشت بررسی نتایج مورفولوژی سطح نشان داد که با افزایش دمای بازپخت سطح نمونه از حالت دانه ای به کپه ای تغییر می یابد همچنین زبری سطح و حداکثرارتفاع برجستگی سطح با افزایش دمای بازپخت افزایش یافت

کندوپاش استوانه ای، دی اکسیدتیتانیم، آناتاز، روتایل