اثراکسیژن اتمی برخواص سایشی نانوفیلم کربن شبه الماسی

یکی ازچالشهای بزرگی که همواره پیشروی صنعت هوافضا است چگونگی مقابله با محیط نامتعادل خارج ازجو است درکنار موادبکاربرده شده درماهواره ها سلولهای خورشیدی یکی ازاجزای کلیدی ماهواره ها بشمارمیرود نانوفیلم کربن شبه الماسی بخاطرخواص اپتیکی و تریبولوژیکی مناسب کاندیدای استفاده درمحیط خارج ازجو است درمقاله حاضربه منظور بررسی اثراکسیژن اتمی برخواص سایشی نانوفیلم کربن شبه الماسی اززیرلایه های سیلیکونی پلی کریستال نوعP استفاده شد درابتدا نانوفیلم کربن شبه الماسی به روش RF-PECVD و باضخامت 80نانومتر برزیرلایه های سیلیکونی اعمال شد سپس اثراکسیژن اتمی برخواص سایشی نمونه ها قبل و بعدازاعمال نانوفیلم کربن شبه الماسی مورد بررسی قرارگرفت نتایج نشان داد پوشش محافظ و ضدبازتاب کربن شبه الماسی میتواند سلولهای خورشیدی سیلیکونی پلی کریستال نوع P رادربرابر پرتوهای اکسیژن اتمی باشار15 10×6 atom/cm-2.s محافظت نماید

Keywords:

اکسیژن اتمی , کربن شبه الماسی , نانوفیلم , خواص سایشی