بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS

Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 2,934

This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

NCNIEE02_254

تاریخ نمایه سازی: 29 بهمن 1392

Abstract:

در این مقاله به یک ساختار میکروفون خازنی اشاره شده که در طراحی آن از تکنولوژی - mems استفاده شده است.میکروفون های با ساختار خازنی در حالت کلی از دو صفحه تشکیل می گردند، که به صفحه بالایی تشکیل دهنده آن، دیافراگم(Diaphragm) گفته می شود که در معرض برخورد امواج صوتی قرار دارد و صفحه دیگر که در قسمت پایینی قرار دارد و ثابت می باشد. این دو صفحه بوسیله یک فاصله هوایی (air gap) از هم جدا می گردند. ابعاد میکروفون ارائه شده ) mm2 5.0 5.0 ( می باشد و ضخامت

Keywords:

Authors

جواد احمدنژاد

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،

بهرام عزیزالله گنجی

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،

آرش نعمتی

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • J. Chen, L. Liu, Z. Li, Z. Tan, Y. Xu ...
  • J. Miao, R. Lin, L. Chen, Q. Zou, S. Y. ...
  • Microelectron ics Journal, _ 33, No.3, pp. 21-28, 2002. ...
  • X. Li, R. Lin, H. Kek, J. Miao and Q. ...
  • microphone with a novel single deeply corrugated diaphragm" Sensors and ...
  • C.T. Yang, "The Sensitivity Analysis of a MEMS Microphone with ...
  • C. Gibbons and R. N. Miles, "Design of A Biomimetic ...
  • B. A. Ganji and B. Y. Majlis, "Design and capacitive ...
  • diaphragm" Sensors and Actuators, Vol. 149, No.5 _ pp. 29-37, ...
  • _ A. Ganji and B. Y. Majlis, "Slotted Capacitive Microphone ...
  • S. Chowdhur, M. Ahmadi, and W.C. Miller, Capacitive the ...
  • International Conference _ MEMS , NANO and Smart Systems (ICMENS), ...
  • P. Horwath, A. Erlebach, R. Kohler and H. Kuck, "Miniature ...
  • B. A. Ganji and B. Y. Majlis , " The ...
  • P. R. Scheeper, W. Olthuis and P Bergveld, "A silicon ...
  • H. Siliang, _ Yan , Z. Jian'en, W. Donghui and ...
  • B.A.Ganji and B.Y. Majlis, "Deposition and Etching of Diaphragm and ...
  • نمایش کامل مراجع