مروری بر روش های میکرو اسمبلی

روش های میکرواسمبلی امروزه کاربرد وسیعی در صنایع مختلف از خود نشان داده است. روش مونتاژ دسته ای الکترواستاتیکی با افزایش دادن التراسوند (U2EBA) یکی از روش های مونتاژ برای میکروسیسستم های سه بعدی که ترکیبی از نیروهای الکترواستاتیکی و عملگر التراسوند می باشد. مونتاژ دسته ای الکترواستاتیکی با افزایش دادن التراسوند (U2EBA) یک روش ساده و Off-chip و جزء روش های مونتاژ دسته ای ترموجنبشی می باشد. راه اندازی ساده، کاربرد گسترده طیف وسیعی از فرآیندهای میکرومیشینگ سطح، و نبود هر گونه مراحل ساخت اضافی از مزایای این روش می باشد و این ویژگی آن را از دیگر روش های مونتاژ مانند کشش سطحی، پوشش دهی مغناطیسی، رباتیک، و غیره متمایز می کند.

Keywords:

اسمبلی MEMS , MEMS نوری , اسمبلی الکترواستاتیک , اسمبلی التراسونیک , چسبندگی