بررسی ولتاژ پولین در ساختار خازنی با ضخامت پایین
Publish place: Conference on Electrical Engineering and Sustainable Development with a focus on new achievements in electrical engineering
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 829
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
EOESD01_217
تاریخ نمایه سازی: 11 خرداد 1393
Abstract:
ولتاژ پولین یکی از پارامترهای اساسی است که در ساختارهای خازنی با تکنولوژی میکروالکترومکانیکی مورد بررسی قرار میگیرد. با اعمال ولتاژبه دو صفحه ی موازی خازن، یک نیروی الکترواستاتیکی ایجاد شده که باعث جابجایی صفحه ی متحرک فوقانی به سمت صفحه ی ثابت پایینیمیگردد. در صورتی که ولتاژ اعمالی را آنقدر افزایش دهیم که دو صفحه در اثر کشش نیروی الکترواستاتیکی به یکدیگر متصل شوند، پدیدهفروپاشی رخ میدهد و این ولتاژ را ولتاژ بحرانی یا پولین می نامند؛ لذا دانستن مقدار دقیق ولتاژ پولین بسیار حائز اهمیت است. در این مقاله، روشجدیدی ارائه شده است که این ولتاژ را مورد بررسی قرار میدهد. برای یک ساختار خازنی که ضخامت پایین دارد، مدل سازی صورت گرفته شدهاست. همچنین نموداری از میزان جابجایی و ولتاژ پولین ارائه خواهد شد که مقدار دقیق ولتاژ پولین را نشان میدهد. به علاوه نتایج تئوری با نتایجشبیه سازی، بسیار در توافق نزدیک میباشند.
Keywords:
Authors
سارا قلی نژادشفق
کارشناسی ارشدالکترونیک دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
بهرام عزیز الله گنجی
استادیاردانشکده برق وکامپیوتر دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :