توانایی روش RBS-Channeling جهت مطالعه اثر یون های ژرمانیوم کاشت شده در شبکه بلوری سیلیسیم
Publish place: Iranian Physics Conference 1384
Publish Year: 1384
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,863
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC84_069
تاریخ نمایه سازی: 5 اسفند 1385
Abstract:
مطالعه ژرمانیوم کاشت شده با انرژی 100 keV و دز 1× 16 10 atoms/cm 2 در جهت (100) شبکه بلوری سیلیسیم و اثر کاشت ژرمانیوم بر شبکه مزبور در این مقاله بررسی شده است . آنالیز نمونه ها با استفاده از تکنیک RBS-Channeling نشان می دهد که اتم های ژرمانیوم کاشت شده درمکان شبکه ای اتم های سیلیسیم قرار نگرفته است . بررسی مکان ناخالصی ها در دو جهت کریستالی (100) و (110) انجام شده است
Authors
داریوش فتحی
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
محمد لامعی رشتی
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
امیدرضا کاکوئی
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
داود آقاعلی گل
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :