سجاد مشفع - دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا
سعید بستانی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا
احسان رزمخواه - دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا

در این مقاله تحلیل هارمونیک و مودال بر روی یک سوئیچ خازنی و موازی RF MEMS که صفحه متحرک آن بصورت تیر یک سر گیردار (بیم لنگری) میباشد انجام میگیرد.این سوئیچ کم تلف بر روی موجبر همصفحه طراحی شده و در باند فرکانسی V(40-60 GHz) عملکرد مورد نظر را خواهد داشت. مکانیزم تحریک این سوئیچ نیز بصورت الکترواستاتیکی است. سوئیچ مورد نظر ، ابتدا توسط نرمافزار CoventorWare تحلیل الکترومکانیکی و گذرا شده و ولتاژ پایین کشنده و زمان سوئیچینگ آن بدست میآید.سپس یک بار سینوسی به بیم سوئیچ اعمال کرده و جابجایی بیم را در مدهای فرکانسی مختلف مورد بررسی قرار میدهیم. بیم سوئیچ ها در هر مد به ازای فرکانس های مشخصی دچار پدیده تشدید شده و عملکرد مطلوب سوئیچ را تحت تاثیر قرار میدهد.لذا لازم است پس از طراحی سوئیچ حالات فرکانسی مختلف که سوئیچ را دچار تشدید میکند مورد بررسی قرار گیرد. در این مقاله نشان داده میشود که بیشترین جابجایی بیم سوئیچ مربوط به مد اول است که در فرکانس 41/1 KHz اتفاق میافتد.

تحلیل هارمونیک ، تیر یک سر گیر دار ، سوئیچ RF MEMS فرکانس تشدید ، ولتاژ تحریک