محمدرضا بهروزی - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
محمد احمدی پور - دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا، فسا، ایران
زهیر کردرستمی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا، فسا، ایران

در این مقاله اثرتغییر شکل پل معلق بر عملکرد سوئیچ خازنی موازی RF MEMS مورد بررسی قرار می گیرد. فرکانس تشدید سوئیچ، از ظرفیت خازنی و اندوکتانس پل بدست می آید. تغییر شکل پل معلق نیز، از نظر الکترومغناطیسی باعث تغییر مقدار ظرفیت خازنی بین پل و الکترود پایینی و مقدار اندوکتانس پل می شود. از نظر مکانیکی نیز باعث تغییر مقدار ثابت فنر سازه پل شده و ولتاژ pull-in سوئیچ را تغییر می دهد. جهت بررسی و تحلیل این موضوع، دو ساختار جدید طراحی شده و شبیه سازی های لازم روی آنها انجام می گیرد. برای انجام شبیه سازی مکانیکی و الکتریکی، از نرم افزار 2010 Coventorware استفاده می شود. سپس هر دو طراحی با هم و با سوئیچ اولیه مورد مقایسه قرار می گیرد. مشاهده می شود که طراحی های جدید دارای ایزولاسیون بهتر و ولتاژ pull in کمتری می باشد.

ایزولاسیون، تلفات داخلی، تلفات بازگشتی، پل معلق، سوئیچ RF MEMS