بهینه سازی اندازه شکاف خازنی در شتاب سنج خازنی MEMS
Publish place: 1st Iranian National Conference Electerical Engineering
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 729
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
INCEE01_027
تاریخ نمایه سازی: 25 تیر 1393
Abstract:
در این مقاله طراحی و شبیه سازی یک شتاب سنج خازنی MEMS ارائه شده است. در این طراحی از عناصر خمشی دوسر گیردار و جرم معیار بدون سوراخ کاری استفاده شده است. برای طراحی انجام گرفته، میزان فرکانس 1/6KHz حاصل گردیده است. با توجه به اینکه برای هر فرکانس تشدیدی می توان بهینه ترین اندازه شکاف خازنی را به دست آورد. در این مقاله اندازه شکاف خازنی با استفاده از تحلیل نموداری نویز براونین معادل شتاب، نویز مداری معادل شتاب و نویز کلی معادل شتاب به میزان 1/95 μm به دست آمده است که یک مقدار کاملاً بهینه ای است و با این مقدار اندازه شکاف خازنی، مقادیر حساسیت، نویز براونین معادل شتاب، نویز مداری معادل شتاب و نویز کلی معادل شتاب به دست آمده است.
Keywords:
Authors
نازنین ساده
دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات، اراک، ایران
احمد عفیفی
استادیار،دانشگاه مالک اشتر، مجتع دانشگاهی برق و الکترونیک، گروه مهندسی برق و الکترونیک تهران، ایران
سید مهدی نجفی زاده
دانشیار، دانشگاه آزاد اسلامی واحد اراک، مجتمع دانشگاهی مکانیک، گروه مهندسی مکانیک، اراک، ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :