طراحی و ساخت نانو حسگر لایه نازک اکسید قلع خالص و مشخصه یابی خواص الکتریکی آن ها و بررسی تاثیر دمای آنیل روی خواص حسگری
Publish place: 1st Iranian National Conference Electerical Engineering
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 555
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
INCEE01_064
تاریخ نمایه سازی: 25 تیر 1393
Abstract:
در حال حاضر دو حسگر گاز لایه نازک بر پایه ی اکسید قلع خالص، با ضخامت 300 نانومتر، که به روش تبخیر حرارتی در خلا روی زیرلایه ی شیشه لایه نشانی شده، ساخته و مورد مطالعه قرار گرفته شده است. پس از لایه نشانی، به منظور یافتن دمای انیل بهینه، عملیات ترمیم حرارتی در دمای 400 و 450 درجه سانتی گراد برای مدت 2 ساعت، روی نمونه ها اعمال شد و خواص الکتریکی آنها مورد بررسی قرار گرفت. تست حسگری نمونه ها در حضور گاز اتانول انجام شد. نتایج نشان می دهند که حسگر انیل شده در 400 درجه دارای خواص الکتریکی و حسگری بهتری نسبت به حسگر 450 درجه می باشد. دلیل این امر را می توان به امر اندازه دانه ی بزرگ تر نمونه انیل شده در 450 نسبت داد. یکی از مزایای حسگرهای ساخته شده یکنواختی ساختار و نانومتری بودن اندازه دانه های آن ها است. تصاویر SEM از نمونه های گرفته شده تایید می کند که اندازه دانه برای نمونه آنیل شده در 400 و 450 به ترتیب برابر 16 و 27 نانومتر است.
Keywords:
Authors
زهرا اسمعیل زاده فشتمی
دانشجوی کارشناسی ارشد، رت، کیلومتر ۵ جاده تهران، دانشگاه گیلان، دانشکده فنی، گروه مهندسی برق، آزمایشگاه حسگر
سیدمحسن حسینی گلگو
استادیار دانشگاه، رشت، کیلومتر ۵ جاده تهران، دانشگاه گیلان، دانشکده فنی، گروه مهندسی برق، آزمایشگاه حسگر
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :