افزایش تغییرات بازه ظرفیت خازن با استفاده از تکنولوژی MEMS
Publish place: 1st Iranian National Conference Electerical Engineering
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 817
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
INCEE01_203
تاریخ نمایه سازی: 25 تیر 1393
Abstract:
در این مقاله یک خازن میکروالکترومکانیکی (MEMS) شانه دار جدید با بازه تغییرات ظرفیت خازنی وسیع ارایه شده است. در این مقاله جهت رفع مشکل پولین از روش صفحه ی پله دار و جهت افزایش بازه تغییرات خازن از صفحات خازنی شانه دار استفاده شده است. ساختار خازنی جدید دارای غشایی از جنس پلی سیلیکون می باشد. ظرفیت خازن برای ساختارهای خازنی با صفحات صاف و صفحه ی پله دار و صفحات شانه ای شبیه سازی شده است و بازه ی تغییرات ظرفیت خازن در ساختار شانه ای نسبت به صفحه ی پله ای 78.9٪ افزایش یافته است.
Keywords:
Authors
نسیم امانی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر، گروه برق و الکترونیک، بوشهر، ایران
بهرام عزیزاله گنجی
استادیار- دانشگاه فنی نوشیروانی بابل، ایران