محاسبه ضریب کیفیت برای حالت اتلاف تکیه گاه در تشدیدگر میکرومکانیکی بیضوی تحت مد های ارتعاشی پیچشی و تکان دهنده خارج صفحه

Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 563

This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ISAV03_127

تاریخ نمایه سازی: 29 تیر 1393

Abstract:

تشدیدگرهای میکرومکانیکی قطعات کوچک میکرومکانیکی هستند که در فرکانس های بالا ارتعاش می کنند. تشدیدگرهای میکرومکانیکی در انواع حس گرها، فیلترها و ژیروسکوپ ها مورد استفاده قرار می گیرند. چندین مکانیزم اتلاف انرژی در تشدیدگر ها وجود دارد که شامل اتلاف هوا، اتلاف ترموالاستیک، اتلاف بر اثر اصطکاک داخلی و اتلاف تکیه گاه هستند. این مکانیزم های اتلاف انرژی سبب افت عملکرد تشدیدگر ها می شوند. ضریب کیفیت، کیفیت میرایی یک سیستم را نشان می دهد، به طوریکه سیستم با ضریب کیفیت بالاتر دارای سطح اتلاف انرژی پایین است. در مقاله حاضر تشدیدگر میکرومکانیکی بیضوی با چهار تیر نگهدارنده تحت مد ارتعاشی دوم، که ترکیب مد پیچشی و مد تکان دهنده ی خارج صفحه است، بررسی شده و رابطه ای برای فرکانس مد دوم ارتعاش تشدیدگر میکرومکانیکی بیضوی بدست آمده است. فرکانس به دست آمده از روابط تحلیلی با فرکانس حاصل از نرم افزار ANSYS مطابقت خوبی دارد. همچنین روابط ضریب کیفیت در حالت اتلاف تکیه گاه برای مد دوم ارتعاش تشدیدگر میکرومکانیکی بیضوی ارائه شده است. نتایج مقاله حاضر نشان دهنده ی این است که ضریب کیفیت با افزایش ممان اینرسی دوم سطح مربوط به تیرهای نگهدارنده به سرعت کاهش می یابد و با افزایش ضخامت زیرلایه افزایش می یابد.

Keywords:

تشدید گر میکرومکانیکی بیضوی , ضریب کیفیت , اتلاف تکیه گاه

Authors

مجید باقری

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک دانشگاه بیرجند

مهدی راغبی

استادیار گروه مهندسی مکانیک دانشگاه بیرجند

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • http ://en. wikipedia. org/wiki/M icro _ _ ectrome chanic al_system_o ...
  • C. Benjamin, "Vibration transmission and support loss in MEMS sensors", ...
  • X. Wang, D. Xiao, Z. Zhou, Z. Chen, X. Wu, ...
  • M. Ansari, E. Esmailzadeh, N. Jalili, "Coupled vibration and parameter ...
  • Z. Hao, F. Ayazi, "Support loss in the radial bulk-mode ...
  • Z. Hao, A. Erbil, F. Ayazi, "An analytical model for ...
  • Z. Hao, "Thermoelastc damping in the contour-mode vibrations of micro- ...
  • Y. Sun, H. Tohmyoh, "Thermoelasti damping of the axisymmetric vibration ...
  • P. Li, Y. Fang, R. Hu, "Thermoelastc damping in rectangular ...
  • H. Urey, C. Kan, W.O. Davis, "Vibration mode frequency formulae ...
  • _ B. Min-hang, Analysis and Design Principles of MEMS Devices, ...
  • E. Eichler, "Plate-edge admittances", Journal of Acoustical Society of America ...
  • نمایش کامل مراجع