سیده فتانه صلاح الدین - فیزیک ،کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد اسلامی واحد قم
محمدصادق آخوندی خضرآباد - فیزیک ،دکترا ، استادیار دانشگاه صنعتی مالک اشتر،تهران

دستیابی به حساسیت مطلوب در ژیروسکوپ هایMEMSاز اهمیت زیادی برخوردار است. بایاس باعث جفت شدگی مدهای تحریک و آشکار سازی در ژیروسکوپMEMSمی شود و به این ترتیب یکی از مهم ترین پارامترهایی است که مقدار حساسیت قطعه را تغییر می شود. در این مقاله نتایج تجزیه، تحلیل و مقایسه تاثیرخطای بایاس بر روی حساسیت ژیروسکوپ ارتعاشی شانه ایMEMSبا چهار تیرک حسگرمجزا، و ژیروسکوپ ارتعاشی شانه ای MEMSبا هشت تیرک حسگر مجزا، ارائه خواهد شد. ، برای حل تحلیلی معادلات حرکت، بالحاظ نمودن بایاس فرکانس تحریک و بایاس انحراف کم بین محور الاستیک و باز خوان، به صورت مجزاء، از نرم افزارCoventor Wareو برای شبیه سازی تاثیر آنها بر روی حساسیت قطعه، ازSimulikنرم افزارMatlab استفاده شده است. نتایج بدست آمده، نشان می دهد که خطای بایاس در فرکانس تحریک برای ژیروسکوپ هشت تیرکه، نسبت به ژیروسکوپ چهار تیرکه، به مقدار5-10 کاهش می یابد ، و همچنین، خطای بایاس انحراف بین محور الا ستیک و باز خوان به مقدار1-10 کاهش می یابد، بنابراین به طور کلی وجود هشت تیرک حسگر برای ژیروسکوپ باعث کاهش حساسیت می شود ولی پایداری در آن بهبود خواهد یافت

ژیروسکوپ ارتعاشیMEMS/مد تحریک،مد آشکارسازی ،خطای بایاس