مجید باقری - کارشناس ارشد، مهندسی مکانیک، دانشگاه بیرجند
ابوالفضل بیجاری - استادیار، مهندسی برق، دانشگاه بیرجند
مهدی راغبی - استادیار، مهندسی مکانیک، دانشگاه بیرجند

تشدید گرهای میکرومکانیکی قطعات کوچک میکرومکانیکی هستند که در فرکانس های بالا ارتعاش می کنند و در حسگرها، ژیروسکوپ ها، سوئیچ ها مورد استفاده قرار می گیرند. مکانیزم های اصلی اتلاف انرژی در تشدید گرهای میکرومکانیکی اتلاف هوا، اتلاف ترموالاستیک و اتلاف تکیه گاه هستند. در مقاله حاضر رابطه تحلیلی فرکانس طبیعی تشدیدگر بیضوی میکرومکانیکی در مد ارتعاشی تکان دهنده داخل صفحه استخراج شده است. فرکانس حاصل از رابطه تحلیلی با فرکانس به دست آمده از نرم افزار ANSYS مطابقت خوبی دارد. در مقاله حاضر رابطه ضریب کیفیت اتلاف تکیه گاه در مد ارتعاشی تکان دهنده داخل صفحه تشدیدگر بیضوی میکرومکانیکی با دو تیر افقی نگهدارنده محاسبه شده است.

اتلاف تکیه گاه، تشدید گر بیضوی میکرومکانیکی، ضریب کیفیت، مد ارتعاشی تکان دهنده داخل صفحه