نسیمه مرادی - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات اراک
احمد عقیقی - استادیار دانشگاه مالک اشتر
سید محمدمهدی نجفی زاده - دانشیار دانشگاه آزاد اسلامی واحد اراک

این مقاله یک ساختار میکروبالومتر جدید با لایه سیلیکون با ناخالصی نوع n به عنوان عنصر فعال که در فرایند coms استاندارد بدست می آید را ارائه می دهد. نتایج مشخصه ها از تراشه های اسخته شده نشان می دهد که لایه n دارای ضریب دمای مقاومتی حدود 0/5% می باشد. با توجه به اینکه عملکرد میکروبالومتر وابسته به ابعاد ساخترا است در این مقاله با تغییر ابعاد شبیه سازی حرارتی به طور دقیق در نرم افزار ANSYS برای بدست آوردن ساختار بهینه سازی شده انجام شده است و نتایج این شبیه سازی و محاسبات باعث بدست آوردن ماکزیمم آشکارپذیری ویژه و پاسخدهی 3933/6v/w شده است این روش مقرون به صرفه و با عملکرد مناسب برای تولید آرایه های صفحه کانونی بزرگ برای تصویربرداری مادون قرمز دمای اتاق است.

اشعه مادون قرمز، میکروبالومتر، آشکارپذیری ویژه پاسخدهی