نسیم امانی - دانشجوی دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر،گروه برق و الکترونیک
بهرام عزیز اله گنجی - استادیار- دانشگاه فنی نوشیروانی بابل

در این مقاله یک خازن میکروالکترومکانیکی(MEMS) شانه دار با بازه تغییرات ظرفیت خازنی بدون محدودیت پولین ارایه شده است.جهت رفع مشکل پولین از روش صفحه ی پله دار و جهت افزایش بازه تغییرات خازن از صفحات خازنی شانه دار استفاده شده است.ظرفیت خازن برای ساختار های خازنی با صفحات صاف ، صفحه ی پله دار و صفحات شانه ای شبیه سازی و آنالیز شده است. همچنین پولین در صفحات خازنی صاف و ظرفیت خازن کل با احتساب ظرفیت خازن حاشیه ای برای صفحات شانه ای توسط شبیه ساز محاسبه و بازه ی تغییرات ظرفیت کل خازن در ساختار شانه ای نسبت به ساختار با صفحه ی پله ای78.9% افزایش یافته و محدودیت پولین در جابجایی برطرف شده است.

میکروالکترومکانیکی، بازه تغییرات ظرفیت خازنی، شانه دار، صفحه پله دار، پدیده پولین