قاسم کاوه ای - پژوهشکده نیمه هادیها، پژوهشگاه مواد و انرژی
علی محمدی قیداری - پژوهشکده نیمه هادیها، پژوهشگاه مواد و انرژی

لایه های نازک اکسید ایندیم و قلع (ITO) با ضخامت 150nm با استفاده از دستگاه باریکه الکترونی روی شیشه لایه گذاری شد. لایه گذاریها در دمای اتاق انجام شده و به منظور بهبود خواص الکترواپتیکی و ساختاری، لایه ها در کوره خلا تحت عملیات حرارتی قرار گرفتند. تغییرات خواص ساختاری، الکتریکی و نوری لایه ها با تغییر دمای کوره مورد بررسی قرار گرفته ومشاهده شد که در دمای 400 درجه سانتی گراد می توان به بیشترین درصد عبور و در عین حال کمترین مقاومت سطحی دست یافت . با استفاده از انالیز AFM , XRD دیده شد که در این دمنا لایه ها دارای ساحتار چند بلور با بافت سطحی <111> شده و دانه های کریستالی در این جهت نیز 35-40nm می باشد.