آصفه بهمئی - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد یزد رشته الکترونیک
مجید پوراحمدی - عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد یزد گروه برق و الکترونیک

کپیاندازهگیری دقیق فاکتورهای فیزیکی مهم از قبیل فشار، فلو، نیرو، تنش، دما، گشتاور و .... در صنعت و زندگی روزمره بشر نقش بسیار حیاتی داردو کاهش اندازه فیزیکی سنسورها و تغییر در رنج اندازهگیری آنها از ماکرو به میکرو، نیازمند طراحی و ساخت سنسورهای جدید یا تغییر ابعاد سنسورهای فعلی از ماکرو به میکرو میباشد، متخصصین در زمینهها، کاربردها و رشته های مختلف مانند فیزیک، شیمی، مکانیک و از همه موثرتر مهندسین ابزار دقیق را بر آن میدارد تا به طراحی و ساخت سنسورهای جدید الکترومکانیکی پرداخته و یا درصدد بهبود رنج اندازه گیری و یا افزایش دقت و حساسیت سنسورهای موجود برآیند. در این مقاله طراحی یک سنسورMEMS خازنی برای تشخیص فشار با استفاده از COMSOL MULTIPHYSIC صورت گرفته است. پارامترهای طراحی MEMS با استفاده از تکنیک حل FEM المان محدود شبیه سازی و مدل شده است. مقدار خمش ،تنش و فرکانس تشدید با استفاده از روش حل Eigen Frequencyمحاسبه گردیده است هدف، افزایش رنج اندازه گیری سنسور فشار میباشد که با افزایش فشار وارده بر سنسور ،میزان فرکانس تشدید را با افزایش ضخامت دی الکتریک ها افزایش دادیم.فرکانس تشدید 2.12 مگاهرتز محاسبه شده است.

جابجایی، خمش ،سنسور فشار خازنی، سیستم های میکروالکترومکانیکی ، فرکانس تشدید