مطالعه ناهمواری های سطحی لایه های نازک مس الکتروانباشت شده
Publish place: Second National Conference on Materials Engineering
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 517
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCOMAE02_028
تاریخ نمایه سازی: 16 خرداد 1394
Abstract:
در این پژوهش لایه های نازک مس بر روی زیر لایه طلا انباشت داده می شود. در این مقاله اثر چگالی جریان انباشت وضخامت بر روی ناهمواری های سطحی لایه های نازک مس بررسی می شود. با بررسی ناهمواری های سطحی لایه ها به وسیلهمیکروسکوپ نیروی اتمی و ناهمواری های سطحی برحسب طول اسکن، نوع و چگونگی ناهمواری های سطحی مشخص گردید.همچنین از میکروسکوپ الکترونی روبشی برای بررسی مورفولوژی سطح لایه ها استفاده و برای بررسی چگونگی ساختار لایهها از پراش اشعه ایکس استفاده شد.
Authors
کامبیز هدایتی
گروه فیزیک،دانشکده علوم پایه ، دانشگاه صنعتی اراک
طاوس حسین آباد
گروه فیزیک ، دانشکده علوم پایه ، دانشگاه اراک