جواد یعقوبی - دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

در این مقاله ، اثرات پارامترهای مختلف یک سوئیچ خازنی میکروالکترومکانیکی (MEMS) فرکانس بالا (RF) با بیم متحرک بر زمان سوئیچینگ آن مورد بررسی قرار گرفته است . پارامترهای این سوئیچ شامل ثابت های مواد ( مانند ضریب کشسانی ، ضریب پوآسون و غیره ) و ابعاد هندسی می باشد . این بررسی میتواند به طراحان سوئیچ جهت به دست آوردن ساختاری بهینه کمک کند .

زمان سوئیچینگ ، سوئیچ خازنی ، ضریب کشسانی ، ابعاد هندسی