افزایش قابل توجه قدرت تفکیک تیغه ی منطقه ای فرنل بامعرفی ساختارفازی بدیعی ازتیغه ی فرنل

در این مقاله خواص کانونی و تصویر برداری تیغه ی منطقه ای فرنل با ساختار بدیعی از تیغه ی فرنل، بررسی شده است. به علت محدودیت چاپ در لیتوگرافی برای نوارهای روشن تیغ هی منطقه ای فرنل با پهنای 20 نانومتر)، پهنای نوارهای روشن و ساختار فازی در این قطعه تغییر یافته است. بنابراین با - کوچکتر از ( 40 افزایش شعاع، دیگر محدودیتی از نظر لیتوگرافی وجود ندارد و می توان تا هر مقدار دلخواه ، قطر این قطعه را افزایش داد و در نتیجه قدرت تفکیک هم افزایش قابل توجهی م ییابد. با تغییر پهنا، پرتو گاوسی با پهنای کمتر و بیشینه مرکزی تیزتر حاصل شده است.

Keywords:

پرتوگاوسی , توزیع شدت , تیغه ی منطقه ای فرنل تصحیح یافته , حلقه های روشن