بررسی اثرزیرلایه روی خواص اپتیکی لایه نازک TaCuN لایه نشانی شده به روش کندوپاش مغناطیسی

Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 486

This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

MATHPHY02_152

تاریخ نمایه سازی: 30 شهریور 1394

Abstract:

دراین تحقیق بااستفاده ازروش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم دردمای مناسب نانو لایه های TaCuN درحضور مخلوطی ازگازنیتروژن و آرگون بانسبت 1.5به 98.5 درصد برروی زیرلایه های سیلیکون و کوارتز انباشت شد خواص اپتیکی لایه نازک با بررسی طیف انعکاسی دوزیرلایه موردمقایسه قرارگرفت نتایج نشان داد که نوع زیرلایه درخواض اپتیکی موثر است

Keywords:

خواص اپتیکی , سیلیکون , طیف انعکاسی , کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم , کوارتز

Authors

ثمینه سربازی گلعذاری

مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • میرعباس، کاووس، نایبی، پیمان. (1386)، تکنولوژی ساخت لایه های نازک ...
  • Ohring M., The Materials Science of Thin films, pp. 441, ...
  • HB.Nie, S.Xu, SJ.Wang, LP .You, Z.Yang, CK.Ong, J.Li, T.Liew Structural ...
  • S.K.Kim, B _ C _ Cha, Deposition of tantalum nitride ...
  • K.Baba, R.Hatada, Synthesis and properties of tantalum nitride films formed ...
  • S.Chaudhuri, L. Chandernagor, M.Lahtinen, M.Ging, I.J.Maasilta, Fabrication of sup erconducting ...
  • .A. E.Kaloyeros, X.Chen, T.Stark, K.Kumar, S.Seo, G.Peterson, H.Frisch, B.Arkles, J.Sullivan, ...
  • نمایش کامل مراجع