بررسی اثرزیرلایه روی خواص اپتیکی لایه نازک TaCuN لایه نشانی شده به روش کندوپاش مغناطیسی
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 486
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
MATHPHY02_152
تاریخ نمایه سازی: 30 شهریور 1394
Abstract:
دراین تحقیق بااستفاده ازروش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم دردمای مناسب نانو لایه های TaCuN درحضور مخلوطی ازگازنیتروژن و آرگون بانسبت 1.5به 98.5 درصد برروی زیرلایه های سیلیکون و کوارتز انباشت شد خواص اپتیکی لایه نازک با بررسی طیف انعکاسی دوزیرلایه موردمقایسه قرارگرفت نتایج نشان داد که نوع زیرلایه درخواض اپتیکی موثر است
Keywords:
Authors
ثمینه سربازی گلعذاری
مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :