سنسورفشار خازنی با ساختار MEMS

Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 555

This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ELEMECHCONF02_340

تاریخ نمایه سازی: 22 مهر 1394

Abstract:

اندازه گیری دقیق فاکتورهای فیزیکی مهم از قبیل فشار، فلو، نیرو، تنش، دما، گشتاور و ... در صنعت و زندگی روزمره بشر نقش بسیار حیاتی دارد و کاهش اندازه فیزیکی سنسورهای فعلی از ماکرو به میکرو می باشد، متخصصین در زمینه ها کاربردها و رشته های مختلف مانند فیزیک، شیمی، مکانیک و از همه موثرترمهندسین ابزار دقیق را برآن می دارد تابه طراحی و ساخت سنسورهای جدید الکترومکانیکی پرداخته و یا درصدد بهبود رنج اندازه گیری و یا افزایش دقت و حساسیت سنسورهای موجود بر آیند. در این مقاله طراحی یک سنسور MEMS خازنی برای تشخیص فشار با استفاده از COMSOL MULTIPHYSIC صورت گرفته است. پارامترهای طراحی MEMS با استفاده از تکنیک حل (FEM) (المان محدود) شبیه سازی و مدل شده است. مقدار خمش، تنش، و فرکانس تشدید با استفاده از روش حل Eigen Frequency محاسبه گردیده است. هدف، افزایش رنج اندازه گیری سنسورفشار می باشدکه با افزایش فشار وارده بر سنسور میزان فرکانس تشدید را با افزایش ضخامت دی الکتربک ها افزایش دادیم. فرکانس تشدید 21.3 مگاهرتز محاسبه شده است.

Authors

آصفه بهمنی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد یزد رشته الکترونیک

مجید پوراحمدی

عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد یزد گروه برق و الکترونیک

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • دکتر مسعود دوستی، اصول نانوتکنولوژی و سیستمهای میکروالکترومکانیکی، تهرا ن، ...
  • Lynn F. Fuller, Fellow, IEEE, Steven Sudirgo, Student Member, IEEE ...
  • Sensata Technologies, Pressure Transducers Technical ...
  • Capacitive Pressure Transducers, Mitch Berkson, Original, Dave Field, Update, 2007. ...
  • Ko, W.H.; Wang, Q. "Touch mode capacitive pressure sensors for ...
  • Y. Hezarjaribi, Golestan University, Gorgan, Iran, M. N. Hamidon, AR. ...
  • Toshihiko Omi, Syo Saskai, Fumihiko Sato and Mikio Matsumoto, Central ...
  • Gitesh Mishra, Neha Paras, Arti Arora, P.J.George, Simulation Of Mems ...
  • B.A. Ganji*, M. Shams Nateri : Modeling of Capacitance and ...
  • Square Diaphragm; IJE TRAN SACTIONS B: Applications Vol. 26, No. ...