مدل سازی رفتار ارتعاشی میکروکانتیلور پایه سیلیکون
Publish place: The Second National Conference on Applied Research in Electrical, Mechanical and Mechatronics
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 403
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ELEMECHCONF02_500
تاریخ نمایه سازی: 22 مهر 1394
Abstract:
بخش قابل توجهی از حسگرهای مورد استفاده درمیکرو و نانو فناوری حسگر های مبتنی بر میکروکانتیلورها می باشند که در حوزه های متنوعی از جمله پزشکی، پالایشگاه ها، شناسایی مواد شیمیایی مانند ترکیبات فرار، مواد منفجره، گونه های یونی، سموم، آلاینده های غذا و محیط، آفت کش ها و مواد زیستی مانند آشکار سازی پروتئین و گلوکزو... کاربرد دارند. روش های حسگری در این حسگرها برپایه روش انحراف(استاتیک) یا تغییر فرکانس رزونانس(دینامیک) آنها می باشد. تعداد زیادی از حسگرهای مبتنی بر میکروکانتیلور از جنس سیلیکون می باشند. بنابراین هدف از انجام این پژوهش،مطالعه و بررسی رفتار ارتعاشی میکروکانتیلورهای سیلیکونی می باشد. به دلیل افزایش حساسیت حسگرهای مبتنی بر میکروکانتیلور در مدهای فرکانسی بالا امکان تحریک میکروکانتیلور سیلیکونی در مدهای مختلف فرکانسی، مطالعه رفتار آنها در مد های رزونانسی بالا دارای اهمیت زیادی است. در این مقاله رفتار میکرو کانتیلور در ده مد اول فرکانسی مورد بررسی و ارزیابی قرار گرفته است.
Keywords:
Authors
حسین سالارپور
دانشکده علوم و فنون نوین/دانشگاه تهران، ایران
محمد طهماسبی پور
دانشکده علوم و فنون نوین/دانشگاه تهران
رقیه قاسم پور
دانشکده علوم و فنون نوین/دانشگاه تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :