هادی قزل سفلو - کارشناس ارشد مهندسی هوافضا دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
رضا ابراهیمی - استادیار دانشکده هوافضا دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
اکبر نظری گلشن - کارشناس ارشد فیزیک دانشگاه امیرکبیر

در این تحقیق با استفاده از روش شبیه سازی مستقیم مونت کارلو (DSMC) یک کد دوبعدی توسعه داده شده است که جریان گاز در سیستم های میکروالکترومکانیکی ١ شامل هندسه های میکرو نازل و یاتاقان هوا لغزشی(مکانیزم دیسک سخت)، را بررسی می کند. برخورد مولکو ل ها براساس مدل کره سخت ٢ می باشد و از روش نمونه برداریNTC ٣ استفاده شده است. نتایج نشان می دهد که در میکرو نازل، با فشار ورودی ثابت، نرخ دبی جرمی با کاهش نسبت فشار (خروجی به ورودی) افزایش می یابد و در یاتاقان هوا لغزشی ، حالت غیر تعادلی در جریان گاز، در سرعت های دورانی بالا وجود دارد . در این تحقیق مسأله استفاده از تابع توزیع تعادلی ماکسول-بولتزمان در جریان های غیرتعادلی گاز بررسی شده است

روش شبیه سازی مستقیم مونت کارلو، سیستم های میکروالکترومکانیکی، معادله بولتزمان