بررسی اثر کاشت یون ازت بر روی لایه های کرم
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 560
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
AREBS01_041
تاریخ نمایه سازی: 14 دی 1394
Abstract:
در این مقاله اثر کاشت یونهای ازت بر روی لایه های نازک کرم تقریبا 600nm که به وسیله تفنگ پرتوی الکترونی بر روی سیلیکون کریستالی نشانده شده بررسی شده است. کاشت یونهای ازت درمحدوده دز at0/cm2 (فرمول در متن اصلی مقاله) و با انرزی 15 kev انجام شده است. برای بهبود خصوصیات سطحْ نمونه ها به مدت 24 ساعت در دمای (فرمول در متن اصلی مقاله) در شرایط خلا و در حضور گاز نئون بازپخت شده و برای پی بردن به یکنواختی سطح و نیز تغییرات آن در اثر کاشت یونهای ازت و نیز بازپختْ از SEM,AFM استفاده شده است
Keywords:
Authors
زیبا دانش
مدرس دانشگاه فیزیک اتمی مولکولی
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :