مصطفی عبدالحمیدی - گروه برق و کامپیوتردانشکده فنی دانشگاه تهران
محمد عرق چینی - گروه برق و کامپیوتر دانشکده فنی دانشگاه تهران
سید شمس الدین مهاجرزاده - گروه برق و کامپیوتر دانشکده دانشگاه تهران
شایا فامنینی - گروه برق و کامپیوتر دانشکده فنی دانشگاه تهران

چکیده : در این مقاله روشی نوین برای ساخت سلف های مسطح چند طبقه و سلف های سه بعدی سلونوئیدی در ابعاد میکرومتری برای استفاده در فرکانس های بالا به همراه شبیه سازی کامپیوتری ارائه شده است . در این روش با به کار بردن لایه عایقی ضخیمی به نام µm ) UVCA ۰۷۱ ) بین افزاره و زیر لایه می توان به مقادیر کمتر خازن پارازیتی ، و در نتیجه ضریب کیفیت بالاتر دست یافت . ساخت سلف ها با این روش نوین به آسانی قابلیت افزایش تعداد طبقات را دارند، که برای نمونه سلف هایی دو طبقه ساخته ایم . سلف های سلونوئیدی سه بعدی نیز، با استفاده از همین تکنیک در دست ساخت ، شبیه سازی و بهینه سازی می باشند . که نتایجی از ساخت و شبیه سازی آنها نیز ارائه شده است . به دلیل ساختار خاص این نوع سلف ها می توان به مقادیر بالاتری از اندوکتانس سلف و ضریب کیفیت بالاتر، نسبت به انواع موجود دست یافت .

سلف مارپیچی ، سلف سلونوئیدی، UVCA، ضریب کیفیت ، Spin Coating