کریم محمدی - دانشگاه علم و صنعت ایران
رضا عسکری مقدم - دانشگاه علم و صنعت ایران

سیستم های میکروالکترومکانیکی که به اختصارMEMS نامیده می شوند، حدود بیست سال پیش مطرح شدند . قابلیت های بسیار زیاد، کاربردهای فراوان و تنوع گونه های مختلف MEMS باعث شده است که از آن به عنوان رنسانسی در علم مهندسی یاد کنند . در واقع نحوه پیدایش و روند رشد آن بسیار شبیه به پیدایش و پیشرفت مدارهای مجتمع می باشد و در آینده ای نه چندان دور در همه جا می توان نمونه هایی از آن را یافت، همانگونه که امروزه مدارهای مجتمع در اطراف ما به وفور دیده شده و استفاده می شوند . در این مقاله ابتدا به انواع خطاهای MEMS و روشهای خطایابی اشاره می شود . سپس با استفاده از شبکه عصبی احتمالی مقاوم تغییر یافته، خطایابی انجام و نتایج آن ارائه خواهد شد .

خطایابی، شبکه عصبی، خطای پارامتری، MEMS