ساخت سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT
Publish place: 1st Iranian Petrochemical Conference
Publish Year: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 3,819
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPCONF01_262
تاریخ نمایه سازی: 6 آذر 1386
Abstract:
لایه نازک ) Lead zirconate titanate {Pb(Zr,Ti)O3} ) PZT بطورگسترده ای در سنسورها و محرک ها مورد استفاده قرار م ی گ یرد . در این مقاله گزارش ی از ساخت سنسور فشار مبتن ی بر لا ی ه نازک PZT ارائه شده است . ای ن سنسور دارا ی دیافراگمی چند لا یه متشکل از لا یه ها ی SiO2/Ti/Pt/PZT/Au به اندازه 3mm×3mm م ی باشد که مراحل ساخت دیافراگم بطور مختصر در این مقاله نشان داده شده است . برای به ینه ساز ی مشخصات د ینامیکی سنسور و پارامترها ی ساختار ی آن و همچن ین برا ی بدست آوردن فرکانس ها ی رزونانس اصل ی د یافراگم از روش اجزا ی محدود و نرم افزار ANSYS استفاده شده است . فرکانس رزونانس اصل ی سنسور بدون اعمال فشار خارج ی 18,4 kHz بدست آمده است . ای ن سنسور در محدوده فشارهایی در حدود 20 mbar تا 140 mbar بصورت کاملا خط ی و با حساس یت بالا عمل م ی نما ید و با اعمال فشار خارج ی دارای شیفت فرکانسی116,25 Hz.mbar -1 می باشد . حساسیت نرمالیزه شده این سنسور نی ز −1 5010 ppm.mbar بدست آمده است
Keywords:
Authors
محمدحسین شیخی
استادیار بخش برق الکترونیک ، دانشگاه شیراز و مسئول پژوهشکده نانو فناو
عبدالغفار برزگر
استادیار بخش مواد، دانشگاه شیراز
وحید محمدی
کارشناسی ارشد بخش برق الکترونیک، دانشگاه شیراز
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :