طراحی و شبیه سازی سنسور فشار پیزومقاومتی میکرو الکترومکانیک
Publish place: The first national conference on electrical engineering of Islamic Azad University, Langarud branch
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,384
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEES01_101
تاریخ نمایه سازی: 16 اسفند 1394
Abstract:
رشد فزاینده استفاده از سنسورها در عرصه های گوناگون و همچنین کاربردی کردن تکنولوژیهای جدید برای استفاده در صنعت ، دلیل برای ورود به این عرصه می باشد. از طرفی تکنولوژی میکرو الکترومکانیک با تلفیق المان های الکترونیکی و مکانیکی در ابعاد کوچک بر روی ویفرهای سیلیکونی ، امکان اندازه گیری دقیق با کارایی و قابلیت بالا را فراهم می نماید.در این تحقیق با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیک یک سنسور طراحی و شبیه سازی می شود و اثر ساختار طراحی شده بر حساسیت سنسور فشار میکروالکترومکانیک با مبدل پیزو مقاومتی بررسی و با استفاده از معادلات حاکم، مقدار جابجایی و ولتاژ معادل محاسبه و در نهایت با استفاده از شبیه ساز و با بررسی تغییر وضعیت دیافراگم و رصد عملکردسنسور، راه کارهایی جهت افزایش حساسیت حسگر ارائه می شود
Keywords:
Authors
محسن جعفری حقیقی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
جواد کرمدل
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
رضا فضایلی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :