فاطمه سمائی فر - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
حسن حاج قاسم - دانشیاردانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران
حسن عبداللهی - دانشگاه شهید ستاری
منصور محتشمی فر - دانشگاه صنعتی مالک اشتر

با توسعه فناوری میکروماشینی و میکروالکترونیک، میکروهیتر یک مؤلفه کلیدی در میکروحسگرها به حساب می آید. در این مقاله یک میکروهیترپلاتینی با ساختار غشای معلق طراحی و ساخته شده است. شبیه سازی با نرمافزار کاونتور به کار گرفته شده است تا طراحی بهینه انتخاب شود. برای به دست آوردن توزیع دمای یکنواخت در سرتاسر ناحیه فعال میکروهیتر و افزایش استقامت غشا، لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک قرار داده شده است. یک فرآیند ساده و مطابق با فرآیند استاندارد مدار مجتمع برای ساخت میکروهیتر کم مصرف طراحی شده است. میکروهیتر ساخته شده برای رسیدن به دمای بالا 400 C فقط به توان مصرفی کم 45 میلی وات نیاز دارد. همچنین دارای پاسخ زمانی بسیار سریع در محدوده 5 میلی ثانیه برای رسیدن به دمای 400 C است.

توزیع دمای یکنواخت، غشای معلق شده، میکروهیتر، میکروحسگر MEMS