ساخت میکروکانال با استفاده از فرآیند برجسته سازی گرم

Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 997

This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

JR_SAIRAN-4-2_005

تاریخ نمایه سازی: 17 فروردین 1395

Abstract:

در این مقاله فرآیند ساخت میکروکانال ها با استفاده از روش برجسته سازی گرم ارائه گردیده است. همچنین با استفاده از راهکارهایی، پیچیدگی ها و هزینه ساخت کاهش داده شده و از موادی پلیمری، کم هزینه و سازگار با نمونه های زیستی بهره گرفته شده تا برای استفاده در ابزارهای ریزسیال مناسب باشند. برای ایجاد میکروکانال ها ابتدا مهری از جنس پلیمر SU-8 با استفاده از روش های لیتوگرافی استاندارد، روی یک زیرلایه شیشه ای ساخته شده، سپس با اعمال فشار و حرارت طی فرآیندی کنترل شده، میکروکانال مورد نظر در بستری از جنس پلیمر PMMA ایجاد گردیده است. استفاده از مهر SU-8 صافی سطح بهتری را در کف کانال منجر شده و به ایجاد جریان های آرام در داخل کانال کمک می نماید. همچنین دیواره کانال ها به طور قابل قبولی عمود بوده و این مسئله در تصاویری که با میکروسکوپ روبش الکترونی گرفته شده، به خوبی نشان داده شده است. عوامل موثر بر کیفیت ساختار ایجاد شده از قبیل دما، فشار و زمان حرارت دهی مورد بررسی قرارگرفته و مقادیر بهینه تعیین گردیده اند. همچنین، میکروکانال های ساخته شده در این مقاله دارای عرض 15 میکرومتر و عمقی برابر 40 میکرومتر می باشند.

Authors

علیرضا شمسی

کارشناس ارشد الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر

علی امیری

کارشناس ارشد الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر

سعید دل آرام فریمانی

کارشناس ارشد الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر

حسن حاج قاسم

دانشیاردانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران