طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی لیزری با استفاده از هد دستگاه Blu-Ray

در این مقاله، نمونه آزمایشگاهی یک سامانه لیتوگرافی لیزری با استفاده از هد اپتیکی دستگاه دیسک خوان Blu-Ray(BD) ساخته و آزمایش شده است. هد اپتیکی این دستگاه دارای لیزر آبی، لیزر قرمز، عدسی شیئی و قطعات اپتیک مناسب برای خواندن و نوشتن اطلاعات روی دیسک نوری است. از لیزر آبی آن با طول موج 405 نانومتر به صورت یکپارچه برای کانونی سازی لیزر روی سطح زیرلایه و همچنین لیتوگرافی و ایجاد الگو روی زیرلایه پوشش داده شده با فوتورزیست شیپلی استفاده شده است. برای انجام فرآیند لیتوگرافی، زیرلایه روی میز دو درجه آزادی Y- X قرار می گیرد و متناسب با الگوی طرح فرامین ارسالی از کامپیوتر، سطح آن به وسیله لیزر روشن/خاموش جاروب می شود. برای رسیدن به کمینه لکه لیزر و ثابت نگه داشتن زیرلایه در محدوده فاصله کانونی محور Z سامانه خودکانون با استفاده از هد اپتیکی و طراحی مدارات واسط ساخته شده است تا پهنای خطوط لیتوگرافی در کل سطح زیرلایه تغییر نکند.دقت پهنای خطوط لیتوگرافی انجام شده 3μm با غیریکنواختی کمتر از 2 درصد است و با توجه به طول موج لیزر آبی و عدسی شیئی با روزنه عددی 0/85 موجد در هد اپتیکی، دقت سامانه لیتوگرافی مذکور تا دقت 500nm قابل ارتقا است.

Keywords:

لیتوگرافی مستقیم لیزری , سامانه خودکانون , آستیگماتیسم , دیسک خوان Blu-Ray