آرمین صدیقی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات قزوین قزوین، ایران
توحید زرگر ارشادی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات قزوین قزوین، ایران

این مقاله طراحی باریکه دو طرف ثابت میکروالکترومکانیکی و مدل ولتاژ متوقف کنندگی را در پارامترهای باریکه از قبیل طول، عرض، ضخامت و فاصله هوایی (یا با دیالکتریک) توضیح می دهد. از آنجا که اصلیترین مشکل در سوئیچ های RF MEMSولتاژ تحریک بالا است، نشان خواهیم داد که با طراحی سوئیچ یا پل معلق خازنی با غشاء و خم مارپیچی به کاهش ثابت فنری و در نتیجه ولتاژ تحریک کمتری دست خواهیم یافت. در ادامه از غشاء گرافیت نسبت به پلی سیلیکون استفاده کرده و مجدداً به ولتاژ تحریک کاهش یافته، حدود 9% دست یافتیم که این نتایج با مقالات معتبر مورد مقایسه قرار گرفته است. همچنین پیشنهادات فوق در باند فرکانسی Ka با نرم افزار المان محدود (FEA) Comsol شبیه سازی شده است.

سوئیچ های RF MEMS ؛ ولتاژ تحریک؛ ساختار خم مارپیچی، غشاء؛ باند فرکانسی Ka