سکینه حیدری - دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر، گروه برق الکترونیک، بوشهر، ایران
محمد عروتی نیا - دانشکده علمی کاربردی پست و مخابرات تهران، گروه برق الکترونیک، تهران، ایران
عبدالرسول قاسمی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر، گروه برق الکترونیک، بوشهر، ایران

در این تحقیق به منظور ساخت آشکارساز دود پیوند فلز- اکسید – نیمه هادی، دو لایه ی Al2O3 و ZnO به روش الکتروانباشت بر روی بستر آلومینیومی لایه نشانی گردیده اند. در این روش ابتدا یک ورقه ی آلومینیوم خالص بوسیله فرآیند الکتروانباشت دو مرحله ای اکسید شده و سپس یک لایه اکسید روی نیز بهمان روش بر روی آن لایه نشانی گردید. در انتها نیز پس از الکترود گذاری، قطعه ی حاصله در دمای 400°C بمدت 2 ساعت پخت گردید. پیوند حاصله توسط دستگاه های شناسایی الگوی پراش پرتو ایکس (XRD) وآنالیز V-C-t مورد مطالعه قرار گرفت . الگوی پراش تشکیل اکسیدروی بر روی بستری از اکسید آلومینیوم را تصدیق کرد. جهت سنجش قابلیت استفاده قطعه حاصله بعنوان حسگر دود، قطعه در یک مدار اسیلاتور قرار گرفت و با اعمال ولتاژ خاصیت خازنی قطعه و ولتاژ آستانه محاسبه گردید، ظرفیت خازنی در حدود 26 درصد و ولتاژ آستانه در حضور دود به میزان 8در صد افزایش نشان داد.

حسگر دود، ZnO/Al2O3/Al، الکتروانباشت، پیوند فلز- اکسید – نیمه هادی، ظرفیت خازنی