مختار اعرابی - آموزشکده فنی و حرفه ای سما واحد تهران دانشگاه آزاد واحد اسلامشهر تهران ایران
مختار سربازی - آموزشکده فنی و حرفه ای سما واحد تهران دانشگاه آزاد واحد اسلامشهر تهران ایران

واژه سیستمهای میکروالکتروماکنیکی یا همان MEMS معرف یک فرآیند تکنولوژی است که برای به وجود آوردن سیستمها و ادوات یکپارچه مجتمع با ترکیب عناصر الکترویکی و مکانیکی به کار می رود. تحقق کامل سیستمها در یک تراشه نوعی فناوری است که اجازه توسعه محصولات هوشمند تکمیل توانایی محاسباتی میکروالکترونها را با در نظر گرفتن قابلیتهای میکروحسگرهای میکرو محرکها و توسعه فضای ممکن طراحی ممکن می سازد.

میکروسوییچ؛ دیوید PIN؛ ترانزیستور FET