کوکب باغبانی پاریزی - دانشگاه تهران آزمایشگاه لایه نازک
جلال نقش نیلچی - دانشگاه تهران آزمایشگاه لایه نازک
یاسر عبدی - دانشگاه تهران آزمایشگاه لایه نازک
جواد کوهسرخی - دانشگاه تهران آزمایشگاه لایه نازک

با استفاده از نانولوله های کربنی که دارای نوک تیز در حد چند نانومتر می باشند امکان ساختن پرتوهای الکترونی متمرکز را به کمک اعمال یک سری روش ها خواهیم داشت، به این ترتیب که جهت جدا شدن اشعه های الکترونی از همدیگر و متمرکز کردن آنها ابتدا لایه نازکی از اکسید تیتانیوم را دور نانولوله ها لایه نشانی کرده و سپس با لایه نشانی فلز گیت و بیرون آوردن نوک نانو لوله ها از فلز می توان با اعمال ولتاژ به گیت کنترل بیشتری روی جریان الکترونی که از نوک لوله ها گسیل می شود را داشت. با قرار دادن صفحه پوشش داده شده با ماده حساس در فاصله مشخص و اعمال ولتاژ مناسب بین بستر نانو لوله ها و این صفحه و سپس حرکت دادن یکی از این دو صفحه نسبت به دیگری در مسیر دلخواه می توان الگوهای نوشته شده با ضخامت نانو و میکرومتری را بر روی ماده حساس ایجاد کرد.

نانولوله های کربنی، گسیل الکترونی، لیتوگرافی نانومتری